top of page
環境控制
製程潔淨控制機組
針對製程環境提供重點區域的潔淨控制， 採分離式設計，可避免製程設備受到震動影響。
產品規格
• 潔淨度：ISO Class 1
• 機台警報訊號上傳：可提供本機組警報訊號與製程設備機台連線
精密溫溼度控制機組
提供面板業、晶圓廠、封裝測試廠精密溫濕度控制確保曝光機、顯影/塗佈設備等製程良率。
產品規格
• 潔淨度控制：ISO Class 1
• 溫度控制精度： ±0.1℃ ~ ±0.01℃
• 濕度控制精度：±2%RH ~ ±0.5%RH
• 機台内建溫濕度曲線資料
• 機台警報、遠端監測及自動防護等功能
bottom of page